SK하이닉스, 저전력 펌프 도입으로 반도체 공정 전력 40% 절감

[산경투데이 = 이준영 기자]

SK하이닉스가 반도체 생산 공정에서 전력 소비를 획기적으로 줄일 수 있는 저전력 펌프를 도입하며 기후 위기 극복을 위한 노력을 강화하고 있다.

25일 SK하이닉스 뉴스룸에 따르면 SK하이닉스는 새롭게 건설 중인 M15X 팹과 용인 클러스터에 이 신기술을 전량 도입할 예정이다.

반도체 공정에서 펌프는 고진공 환경을 조성해 불순물을 제거하는 핵심 장비로, 전체 팹 전력 소비의 약 15%를 차지한다.

SK하이닉스는 기존 펌프의 설계와 구조를 혁신적으로 개선해 전력 소비를 약 40% 절감할 수 있는 저전력 펌프를 개발했다. 이러한 변화는 스코프2(간접 배출) 온실가스 배출량 감축에도 크게 기여할 것으로 기대된다.

SK하이닉스는 2022년 '탄소관리위원회'를 출범하고, 2050년 넷제로 달성을 목표로 구체적인 온실가스 감축 계획을 실행 중이다. 이번 저전력 펌프 도입은 이 계획의 일환으로, 다양한 기술 혁신을 통해 탄소 배출을 줄이기 위한 노력의 결실이다.

특히 SK하이닉스는 3분기부터 신규 투자와 평가를 통해 기존 팹에도 저전력 펌프를 순차적으로 도입 중이다.

또한, 식각 공정에서 펌프 용량을 줄이는 실험을 진행한 결과, 품질과 수율에는 큰 영향을 주지 않으면서도 추가적인 전력 절감 효과를 확인했다. 이를 바탕으로 펌프 용량 감소와 저전력 펌프 사용을 병행해 전력 소비를 최소화하고 있다.

현재 건설 중인 신규 팹에서 저전력 펌프를 적용하면, 기존 설비 대비 약 39.7%의 전력 절감이 가능하다. SK하이닉스는 이로 인해 탄소 배출 감축뿐만 아니라 투자비, 수리비, 운영비 절감 효과도 클 것이라고 강조했다.

또한, 기존 펌프의 회전속도를 낮춰 소비 전력을 절감하는 작업도 병행하고 있다. M15와 M16 팹의 식각 공정에서 회전속도 감속이 완료되면 평균 전력 사용량이 16.7% 감소할 것으로 예상된다.

SK하이닉스 관계자는 "저전력 기술 도입은 단순한 비용 절감을 넘어 지속 가능한 경영의 핵심 과제"라며, "앞으로도 다양한 혁신 기술을 통해 환경과 경제를 동시에 고려한 전략을 추진할 것"이라고 말했다.


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SK하이닉스, 저전력 펌프 도입으로 반도체 공정 전력 40% 절감